台积电 1 月中传出南科 14B 厂晶圆良率异常，因此报废上万片芯片，针对此事台积电 15 日声明指出，因晶圆报废重做，调降第一季财测。
台积电 2 月 15 日声明，把矛头指向某化学原料供应商。“化学原料供应商的一批光阻原料中某特定成分因被处理的方式与过去有异，导致光阻液中产生异质的聚合物。而此异质聚合物对晶圆 14B 厂生产的 12 / 16 奈米晶圆产生了不良影响。”
台积电指出此次事件预计将使第一季营收减少约 5.5 亿美元，毛利率减少 2.6 个百分点，营业利益率减少 3.2 个百分点，每股盈余减少新台币 0.42 元。第一季报废的晶圆将于第二季补足。引发业界热烈讨论。
罪魁祸首是光阻原料供应商，但台积电供应链管理与进料检验也须加强
台积电企业讯息处资深处长孙又文向《数位时代》说明，“台积电现有线上晶圆检验（in-line wafer inspection ）仪器无法检测出该异常状况，而后部分晶圆良率偏离（outlier），追查后发现光阻原料有问题。过程中花了一点时间。”
台积电声明提到的光阻液（photoresist）是晶圆制造的微影成像（Photolithography）步骤的关键化学品。晶圆制程中光阻剂敷涂在晶圆后，接续的曝光（改变光阻剂溶解度）、显影（去除溶解度较高的光阻剂）、蚀刻（移除未被光阻剂覆盖的晶圆外膜）、去除光阻剂等步骤都和光阻剂有关，因此光阻液使用是影响制程良率的关键因素之一。
晶圆制造商对包括光阻液等化学品进料检验（Incoming QC）及供应链管理（SQE）都严格控管，才能避免晶圆制程被污染，影响制程良率。
供应链管理中，从原料的制程、生产设备与生产地点若有任何变动，该原料供应商都要通知使用厂商，在这次提供问题光阻液的厂商并没有事先告知，在“资讯不透明”的状况下导致台积电事后追查才发现晶圆良率有异常。
罪魁祸首是该光阻液供应商，据自由时报指出，陶氏化学为问题光阻液的供应商，台积电将求偿 40 亿元，但台积电并未证实此讯息。却也显示台积电的供应链管理与进料检验都还不够严格，需要加强。
影响一：短期而言就是财务损失
短期而言对台积电就是财务损失。
不过对此半导体分析师陆行之公开在 Facebook 提出疑问，“为什么台积电被供应商（日本晶圆运输设备及美国光阻剂化学大厂）陷害，台积电及投资人股东却要自行认列获利短少（5.5 亿美元营收短少及 3.5 亿美元营业利润短少，其中不包括再投片生产补足的营收及获利），还要再自掏腰包买原料及承担折旧费用帮客户重做？
对于陆行之的质疑，某产业分析师认为“自掏腰包，处理危机速度快，晶圆制程很多道，虽然现在原材料业者愿意承认光阻剂的问题，但是真要走到法庭判赔多少？台积电要举证其他制程没有瑕疵，要拿自己的参数出来给大家看，且曝光其他材料供应商，因此权衡之下自己掏钱最便宜最快。”因此台积电的处理方式也很有可能回归台面下的商业谈判，不会直接对簿公堂。
“对 TSMC 客户而言，自掏腰包重制芯片是负责任的做法，至少让客户知道买到的不会是有问题的那批，而且也承诺 Q2 可以赶完给客户，TSMC 很有可能在承诺的 Q2 底前就完全赶完，这也是竞争力之一。”
影响二：客户是否会转单三星？
14 厂晶圆报废受波及的主要客户是 Nvidia 的 GPU 产品及 MTK、海思的手机应用处理器（AP）。目前看起来市场这两类产品存货水准尚可承受一个月的供应缺口，对产品价格影响有限，有可能影响系统厂延迟出货，但不严重。
“相较之下，高阶制程采三星方案对于海思跟 MTK 而言是比较难的一步，首先是海思母公司华为与三星有竞争关系，一旦三星以任何理由，如厂房失火、机台中毒、材料问题等无法交货，将重挫华为。而 MTK 本身就与三星 AP 有竞争关系，因此选择对客户负责任的 TSMC 仍为首选，直接客户不至于考虑转单。”某产业分析师指出。
尚待追查的大重点：制程管控方面是否有盲点？
不过供应链管理与进料检验问题外，台积电制程管控方面还有盲点更值得厘清。
台积电并没有公布报废晶圆总量，但《经济日报》指出，法人以台积电南科 14B 厂先进制程每片卖价 5,500 美元推算，报废总晶圆量约达 10 万片，而 10 万片报废晶圆总量约等于南科晶圆 14B 厂一个月的总产能（注：孙又文强调，最原初的应变措施仅有良率偏离较多的晶圆全部重做，但后来为了确保晶圆品质仅有些许良率偏离的晶圆也全部重做）。
一名半导体晶圆制程专业人士就指出，“以 10 万片报废晶圆量来看，问题不全在光阻液供应商，台积电内控也出了问题。若光阻剂有问题，在进料检验时没有抓到，为什么在晶圆制造后品管也没法更早发现，避免让问题扩大？”
“若台积电的制程管控方面也有盲点那就表示，这并不仅是疏忽进料检验（Incoming QC）的小失误，而是一个系统性失灵（System breakdown）大漏洞。也就是说台积电南科 14B 厂从供应商管理（SQE）、入料检验（IQC）到制程管控（IPQC 与 PQC）等层层把关全都‘一起失灵’”该人士强调。
孙又文指出：“外界对于台积电制程并不了解，许多看法并非事实。”
（本文由 数位时代 授权转载；首图来源：达志影像）
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