全球半导体微影技术厂商艾司摩尔（ASML）今日举行“EUV（极紫外光）全球技术培训中心”开幕典礼。培训中心坐落台南科学园区，占地 1,625 平方米，配备实机模组（live module），提供技术理论课程和无尘室实机操作课程等多元化培训内容，总投资金额达 1,350 万欧元（约新台币 4.74 亿元）。目前配置 14 位讲师，估计每年可提供数千小时课程，为 ASML 和客户培育 360 位 EUV 技术工程师。培训中心设立后，ASML 在台湾的研发团队人数也预计 3 年内由原本 280 人提升至 500 人。
ASML 全球副总裁暨台湾区总经理陈文光表示，感谢南科管理局、相关-单位与客户及伙伴的支持与协助，ASML EUV 全球技术培训中心落成可为半导体产业提供更完整的服务，使 ASML 与全球半导体产业及客户共同成长。
ASML 指出，自 2010 年提供第一台 EUV 微影设备原型机给台积电进行研发开始，就为全球微影技术开创新纪元。2017 年，ASML 再交付第一台量产型 EUV 微影系统 TWINSCAN NXE:3400 给台积电，写下商用 EUV 制程技术的新里程。至今台湾 EUV 装机规模领先全球，ASML 在台南成立 EUV 全球技术培训中心，不仅使公司的台湾营运和服务项目更多样化，更实现全力支援客户先进制程开发与量产的承诺。
ASML 指出，将新手工程师培育成技术熟稔、可独自作业的 EUV 工程师需历经 18 个月训练。过去全球 EUV 工程师即使只负责部分专业技术，都必须前往 ASML 荷兰总部接受长达数月的培训。随着新冠肺炎疫情为全球差旅工作增添许多限制与不确定性，位于台南的 EUV 全球技术培训中心就为台湾 ASML 与客户提供相对安全且经济的培训方式。ASML 也在韩国设有 EUV 技术培训中心，为新进工程师提供 EUV 基础训练课程，以满足与日俱增的客户需求。
ASML 是台湾半导体产业与客户的重要策略伙伴。自 1988 年交付第一台微影系统予台湾客户后，2003 年正式在新竹成立台湾总部办公室，就近提供客户技术支援服务，尔后逐步扩大在台营运，至今在林口、新竹、台中、台南都设有客户支援办公室，并于林口和台南设立工厂。林口厂负责机台翻修、光罩传输（Reticle Handler）模组生产与 YieldStar 光学量测设备生产，台南厂则专注于电子束（ebeam）和多光束（multi-beam）检测设备制造。ASML 台湾员工约 2,800 人，并持续伴随台湾半导体产业共同成长。
目前使用 ASML 的 EUV 设备最多的晶圆代工龙头台积电，晶圆厂营运副总经理王英郎表示，台积电与 ASML 进行 EUV 设备合作长达 10 年，是最紧密的合作伙伴。目前最先进制程打造的芯片必须在人类指甲大小的芯片，放入最多 100 亿个晶体管，意味着每个晶体管仅手上细菌的千分之一。要在如此小的面积内植入为数众多且精细的晶体管，就必须依赖 EUV 设备。近来芯片植入的晶体管数能短短数年从 1 亿个发展到 100 亿个，都要非常感谢 ASML 开发的设备，让摩尔定律得以延续。
王英郎进一步指出，因为 EUV 是先进制程的重要关键，所以台积电斥巨资购买，人员操作让 EUV 能发挥最大的功效就极其重要。过去台积电每年要派遣相关人员到荷兰 ASML 总公司受训，一次训练就必须耗费 4~7 周，不仅花费大量差旅费用，且因训练能量有限，参与名额也有限。如今，ASML 在两年前了解台积电的需求，来台设立 EUV 技术培训中心后，不仅增加培训能量，还使台积电与 ASML 更紧密合作，使台积电先进制程发展有更多助益。至于未来台积电至美国建设 5 奈米厂，双方合作会否比照办理，王英郎不表示任何意见。
（图片来源：科技新报摄）
