进入后摩尔时代，极紫外光（EUV）微影成为推动先进制程向前迈进的关键技术，目前包括台积电、三星（Samsung）、英特尔（Intel）等大厂也积极导入 EUV。据供应链消息，2021 年 ASML（艾司摩尔）EUV 设备出货量从 40 台起跳，台积电包下至少 15 台、上看 20 台，稳居最大客户；法人看好 ASML 供应链的帆宣、家登、公准等有望持续受惠。
根据摩尔定律，积体电路（IC）可容纳的晶体管数目，约每 18~24 个月就会增加一倍，性能也将提升一倍，成本则下降一半。从物理定律来看，晶体管的微缩不可能永无止尽，市场质疑摩尔定律将无法延续；EUV 技术可减少芯片生产步骤及光罩层数，达到降低成本的好处，因此视为发展先进制程的重要技术。
台积电从 7+ 制程开始导入 EUV 技术，跨入新制程世代，每片晶圆采用的 EUV 光罩层数也越来越多。业界分析，台积电 7+ 约需 2~4 层 EUV 光罩层、5 奈米约 12~14 层，3 奈米更需要到 24 层，可见 EUV 的重要性；3 奈米也拍板 non-Pellicle（无光罩保护膜），不仅更环保，也能让 EUV 生产力（Productivity）发挥到极致。
台积 5 奈米已在南科顺利量产，3 奈米生产基地也在南科，台南可说是 EUV 重镇，据悉南科 EUV 机台就多达 20 几台，由于 3 奈米新厂将于今夏开始进机，未来将一举突破 30 台。再者英特尔、三星也积极布建 EUV 产能，加上 SK 海力士等内存大厂相继导入 EUV，均将支撑 EUV 的未来需求。
现在市场已知的 EUV 供应链，包括光罩盒供应商家登、EUV 设备模组代工厂帆宣、零组件供应商公准等。帆宣目前在手订单约 243 亿元，订单年见度直透年底，法人看好今年营收可望双位数成长，整体营运表现将再缔新猷。
看好半导体需求前景，家登规划在土城新建厂区，最快 2022 年底完工，整体产能将较目前提升超过一倍，同时也积极开发晶圆载具新品，并布局航太新事业，有望为公司长期发展增添动能。法人预估，今年家登 EUV 光罩盒出货量有望较去年倍增，全年营收拼优于去年成绩，续创新高。
（本文由 MoneyDJ新闻 授权转载；首图来源：科技新报）
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