台积电南科再生水厂预计 3 月完成主体建筑,将致力产出优于进水品质要求的再生水,成为全球首家导入工业再生水的先进晶圆厂。
为持续降低自来水用水量,台积电积极承诺并使用工业废水与民生污水的再生水,民国 104 年开始发展再生水技术,于 105 年打造全国第一条半导体工业再生水试产线,回收处理工业放流水。
台积电 109 年启动南科再生水厂建厂工程,为台湾第一座民营再生水厂,预计 110 年 3 月完成主体建筑,随后将安装系统、启动试产并持续调校,致力产出优于进水品质要求的再生水。
台积电还以全物理压滤的晶背研磨废水再生技术,取代添加化学药剂的混凝沉降法,处理半导体封装制程大宗废水、晶背研磨废水,节省化学药剂用量,同时产制品由原本的无机性污泥,转化为有价的高纯度工业级硅产品。
台积电指出,晶背研磨废水资源化系统于 109 年 7 月在先进封测 3 厂正式启动,至 110 年 1 月共计回收逾 1.5 万公吨晶背研磨废水,成功产制 30 公吨工业级硅产品。台积电预计 111 年扩大导入目前兴建中的先进封测 2 厂第二期、先进封测 6 厂,朝资源永续的目标持续迈进。
(作者:张建中;首图来源:台积电)
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